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企業概要

1. 半導体製造装置事業 - 半導体製造に必要な装置・設備の製造・販売を行っている。 - ウエハプロセス装置、テープカセット装置、マスクアライナ、ディスクドライバ、スロッタ、分離装置などの製造を行っている。 2. 真空技術事業 - 真空技術に関する各種装置・設備の製造、販売、保守を行っている。 - 液体窒素タンク、チャンバ、真空計などの製造を行っている。 3. 産業機械事業 - 産業機械の設計・製造・販売を行っている。 - シール機、フィルム巻き取り機、表面処理装置などの製造を行っている。 4. 熱処理装置事業 - 熱処理装置の製造・販売を行っている。 - 真空炉、窒素炉、酸素炉、リフロー炉などの製造を行っている。 5. モジュール事業 - 各種モジュールの製造・販売を行っている。 - LEDモジュール、レーザーモジュール、パワーモジュールなどの製造を行っている。 6. プラント・装置工事事業 - 特殊な要件を持つプラント・装置の設計・施工を行っている。 - 半導体製造プラント、真空プラント、熱処理装置プラントなどの設計・施工を行っている。 7. その他の事業 - 上記以外の製品やサービスに関する事業を行っている。 - 各種サービス、製品販売代行、特許出願・出願手続き支援などに携わっている。