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企業概要

1. プラズマエッチング装置の製造・販売 - 電子デバイスの製造プロセスに使用されるプラズマエッチング装置の設計、製造および販売を行っています。 - ノーブルガス、酸素、フッ素などのガスを使用して半導体ウエハーの表面をエッチングすることで、微細なパターンを形成することができます。 2. CVD装置の製造・販売 - 化学気相堆積（CVD）装置の設計、製造および販売を行っています。 - ガスと化学反応させることで薄膜を成膜させることができるCVD装置は、半導体や液晶ディスプレイなどの製造に重要な役割を果たしています。 3. エッチング装置の保守・修理 - プラズマエッチング装置およびCVD装置の保守・修理サービスを提供しています。 - 長期にわたり安定した性能を発揮するためには、定期的なメンテナンスが必要です。当社では、お客様の装置の運用状況を把握し、最適な保守サービスを提供しています。 4. 基板用ウェット洗浄装置の製造・販売 - 薄膜を削除し基板表面を洗浄するための基板用ウェット洗浄装置の設計、製造および販売を行っています。 - 半導体ウエハーやタッチパネル基板などの洗浄に使用される装置で、高い洗浄効率と安定した品質を実現しています。 5. その他の製品およびサービス - その他にも、特殊な装置や材料の開発、製造、販売なども行っています。 - 特定のお客様の要求に応じて、カスタマイズされた製品やサービスを提供することも可能です。