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企業概要

1. 半導体製造装置事業: - 半導体製造プロセス向けの装置の開発・製造・販売 - ウエハーレベルでの加工、形成、検査をサポート 2. 高性能真空装置事業: - 半導体製造装置に使用される真空装置の開発・製造・販売 - ウエハーレベルでの真空環境を提供 3. 高周波ガス放電装置事業: - プラズマ処理装置の開発・製造・販売 - 主に半導体製造プロセスにおける表面改質を行う 4. 耐熱コーティング事業: - 熱に強いコーティング技術の提供 - 半導体、車載部品、医療機器などの分野で使用 5. 真空ポンプ修理事業: - 高性能真空ポンプの修理と保守サービスの提供 - 公正試験機関の認定を受けた技術力 6. 半導体関連機器・材料の販売: - 半導体製造プロセスに使用される機器と材料の販売 - 国内外のサプライヤーから調達 7. 提携事業: - 半導体製造プロセスと関連する技術および製品の提携 - 多様な分野の企業と提携し、相互の技術力を活かす