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企業概要

1. 半導体製造装置事業 - 半導体製造に関わる装置やシステムの開発、製造、販売を行っています。 - 特にウェットプロセス装置や洗浄装置、液体供給装置などの製造装置を提供しています。 2. 半導体研究機器事業 - 半導体関連の研究機器や評価装置の開発、製造、販売を行っています。 - ソリューションとして、半導体材料の評価や品質改善などの分析および試験機器を提供しています。 3. 高精度部品設計事業 - 半導体製造装置や半導体研究機器に使用される高精度部品の設計、製造を行っています。 - 特に真空部品や導電性エラストマー、ベアリングなどの設計および製造を行っています。 4. テクニカルサービス事業 - 半導体製造装置や半導体研究機器のメンテナンス、リペア、アップグレードなどのテクニカルサービスを提供しています。 - フィールドエンジニアによるサポートやカスタマーサポートセンターを通じた遠隔支援などを提供しています。 5. 修理およびリフレッシュ事業 - 半導体製造装置や半導体研究機器の修理およびリフレッシュサービスを提供しています。 - ユーザーのニーズに合わせた修理サービスや受託リフレッシュサービスを提供しています。 6. エンジニアリングソリューション事業 - 顧客に対してのエンジニアリングソリューションを提供しています。 - 半導体製造装置や半導体研究機器の設計・開発、プロセス改善、導入支援などのサービスを提供しています。 7. メカトロニクス部品の研究開発 - メカトロニクス部品の研究開発を行っています。 - 高機能素材や超微細加工技術を活用した新たな部品の開発に取り組んでいます。