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企業概要
1. 半導体製造装置事業 - 半導体製造装置の研究、設計、開発、製造、販売 2. 測定・検査装置事業 - 半導体ウエハの寸法測定装置、形状測定装置の研究、設計、開発、製造、販売 - 半導体ウエハの高精度検査装置の研究、設計、開発、製造、販売 3. 医療機器事業 - 臨床検査装置、高機能診断装置の研究、設計、開発、製造、販売 4. 産業設備事業 - 環境関連設備、省エネルギー関連設備、自動制御装置、特殊計装の研究、設計、開発、製造、販売 5. 光学機器事業 - 光学装置および光学材料の研究、設計、開発、製造、販売